輪廓測量系統(tǒng)-寧波旗辰儀器有限公司

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輪廓測量系統(tǒng)

簡要描述：

輪廓測量系統(tǒng)Z1軸（檢出器）測量范圍60 mm（水平狀態(tài)±30mm）
Z1軸（檢出器）測長單元RT檢出器
Z1軸（檢出器）分辨力0.04μm
直線度（X軸水平姿勢）0.8μm/100 mm

更新時(shí)間：2020-07-31

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1.　輪廓測量系統(tǒng)測量規(guī)格

Z1軸（檢出器）測量范圍		60 mm(水平狀態(tài)±30mm)
Z1軸（檢出器）測長單元		RT檢出器
Z1軸（檢出器）分辨力		0.04μm
直線度（X軸水平姿勢）		0.8μm/100 mm
指示精度	X1 軸	±（0.8＋0.01L）μm L為驅(qū)動長度（mm）寬范圍：1.8μm/100mm 窄范圍：1.05μm/25mm
（20℃）	Z1軸（檢出器）	±（1.2＋｜2H｜/100）μm H：基于水平位置的測量高度（mm）
測針垂直動作		弧形移動
測量方向		推/拉方向
測量面方向		向上/ 向下
測力		30 mN
跟蹤角度	單切面測針SPH-71:	爬升角77°/下降角83°（依表面粗糙度而定）
測針針尖	單切面測針SPH-71:	角度12° 半徑25 μm 硬質(zhì)合金
行程限制功能		范圍：-29mm~+29mm 定位精度范圍：±1mm

輪廓測量系統(tǒng)?本體規(guī)格

X軸測量范圍		100 mm
測長單元	X軸	STVC-10Z
測長單元	Z2 軸（立柱）	ABSOLUTE 線性編碼器
分辨力	X軸	0.05 μm
分辨力	Z2 軸（立柱）	1 μm
X1 軸傾角范圍		±45°
Z2軸（立柱）移動范圍		500mm
驅(qū)動速度	X1 軸	程控：0～80 mm/s JOY操作：0～40 mm/s
驅(qū)動速度	Z2 軸（立柱）	程控：0～30 mm/s JOY操作：0～30 mm/s
測量速度		0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0、5.0、10、20、30 mm/s※
檢出器交換		配有熱插拔功能：無需關(guān)閉控制器。（輪廓檢出器需要初始化）配有免工具安裝/拆卸機(jī)構(gòu)（指旋器鎖緊桿）
基座尺寸		600×450 mm
基座材料		花崗巖
外部尺寸：（WDH）	主機(jī)	759×482×1166 mm
	控制器	221×346×472 mm
	操作盒	248×102×62 mm
質(zhì)量	主機(jī)	150 kg
	控制器	14 kg
	遙控箱	0.9 kg
精度保證范圍		19～21 ℃
精度保證溫度梯度		2 ℃/8h
使用溫度范圍		5～40℃（校正與測量的溫度范圍波動在±1℃以內(nèi)）
使用濕度范圍		20～80 %RH　無凝結(jié)
保存溫度范圍		-10～50 ℃
保存濕度范圍		5～90 %RH　無凝結(jié)
通訊接口		USB
電源		100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz
噪聲檢測		A計(jì)全聲壓級：不超過70 dB(A)
消耗功率		400 W

※:測量速度推薦在5mm/s以下。（過高的話，測針容易損壞，精度會受到工件表面幾何形狀的影響）

包裝規(guī)格

包裝尺寸（W×D×H）			1000×750×1500mm
毛重			185kg

3.　附件

3-1.　主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)附屬品